U neuravnoteženom raspršivanju Magnetrona, plazma se takođe povlači u podlogu, a joni argona takođe bombarduju rastući tanak film. … Prisustvo elektrona oko supstrata dovodi do jonizacije atoma neutralnog gasa i prodiranja plazme u ovo područje.
Zašto magnetron prska?
Magnetronsko raspršivanje koristi zatvoreno magnetsko polje za hvatanje elektrona, povećavajući efikasnost inicijalnog procesa jonizacije i stvarajući plazmu pri nižim pritiscima, smanjujući ugradnju pozadinskog gasa u rastućem gubici filma i energije u raspršenom atomu zbog sudara plina.
Šta se može primijeniti za magnetronsko raspršivanje?
5 Taloženje magnetronskim raspršivanjem. Magnetronsko raspršivanje je tehnika vakuumskog premaza visoke brzine koja omogućava taloženje mnogih vrsta materijala, uključujući metale i keramiku, na što više vrsta supstratnih materijala upotrebom posebno formiranog magnetnog materijala polje primijenjeno na metu za raspršivanje diode.
Šta je neuravnoteženo magnetronsko raspršivanje zatvorenog polja?
Sistem za zatvaranje neuravnoteženog magnetnog raspršivanja jona, razvijen od strane Teer Coatings Ltd, proizvodi optimizovane uslove taloženja omogućavajući nanošenje gustih, tvrdih premaza sa odličnom adhezijom. CFUBMSIP aranžman je pokriven patentima odobrenim Teer Coatings Ltd.
Šta je neuravnoteženi magnetron?
Magnetroni se obično klasifikuju kao 'uravnoteženi' ili 'nebalansirani'. … Ako je nulta tačka blizu ciljne površine, elektroni mogu lakše pobjeći i magnetron je neuravnotežen. Neuravnoteženi dizajni mogu proizvesti visoko ionsko bombardiranje tankog filma u isto vrijeme kao i taloženje.