U slučaju poluprovodničke litografije (koja se naziva i fotolitografija) naše kamenje su silicijum pločice i naši uzorci su ispisani polimerom osjetljivim na svjetlo zvanim fotorezist.
Šta mislite pod fotolitografijom?
fotolitografija, također nazvana optička litografija ili UV litografija, je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za izradu uzoraka dijelova na tankom filmu ili većem dijelu supstrata (koji se također naziva wafer). … Ova metoda može stvoriti izuzetno male uzorke, veličine do nekoliko desetina nanometara.
Zašto se litografija koristi u proizvodnji poluprovodnika?
Fotolitografija je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za prijenos geometrijskih uzoraka na film ili podlogu. Geometrijski oblici i uzorci na poluprovodniku čine složene strukture koje omogućavaju dodacima, električnim svojstvima i žicama da završe kolo i ispune tehnološku svrhu.
Koja je svrha fotolitografije?
Fotolitografija je jedna od najvažnijih i najlakših metoda mikrofabrikacije i koristi se za kreiranje detaljnih uzoraka u materijalu. U ovoj metodi, oblik ili uzorak se mogu urezati selektivnim izlaganjem polimera osjetljivog na svjetlost ultraljubičastom svjetlu.
Šta je oprema za poluvodičku litografiju?
Oprema za poluprovodničku litografiju se koristi u fazi ekspozicije poluprovodničkog čipaproizvodni proces. … Oprema za poluprovodničku litografiju koristi projekciono sočivo da smanji uzorak strujnog kola, koji je napisan na originalnoj pločici koja se zove končanica, i izloži uzorak na pločicu.
