Fotolitografija se obično koristi za proizvodnju kompjuterskih čipova. Prilikom proizvodnje kompjuterskih čipova, materijal supstrata je rezistentna ploča od silikona. Ovaj proces omogućava da se stotine čipova istovremeno naprave na jednoj silikonskoj pločici.
Kako se radi fotolitografija?
Fotolitografija koristi tri osnovna koraka procesa za prijenos uzorka s maske na oblatu: premazati, razviti, izložiti. Uzorak se prenosi u površinski sloj vafla tokom naknadnog procesa. U nekim slučajevima, uzorak otpornosti se također može koristiti za definiranje uzorka za taloženi tanki film.
Zašto se zove fotolitografija?
Poluprovodnička litografija (fotolitografija) - Osnovni proces . Proizvodnja integrisanog kola (IC) zahteva niz fizičkih i hemijskih procesa koji se izvode na poluprovodničkoj (npr. silicijumskoj) podlozi. … Reč litografija dolazi od grčkog lithos, što znači kamenje, i graphia, što znači pisati.
Zašto je litografija važna?
Litografija je proces prenošenja uzoraka geometrijskih oblika u maski na tanak sloj materijala osjetljivog na zračenje (koji se naziva otpor) koji pokriva površinu poluvodičke pločice. Slika 5.1 šematski ilustruje litografski proces koji se koristi u proizvodnji IC.
Koja je metoda najčešće korištena u litografskim metodama?
Opticallitografija je tehnika zasnovana na fotonima koja se sastoji od projektovanja slike u fotoosetljivu emulziju (fotorezist) premazanu na podlogu kao što je silikonska pločica. To je najrasprostranjeniji proces litografije u proizvodnji nanoelektronike velikog obima u industriji poluprovodnika.
