Fotolitografija je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za prijenos geometrijskih uzoraka na film ili podlogu. Geometrijski oblici i uzorci na poluprovodniku čine složene strukture koje omogućavaju dodacima, električnim svojstvima i žicama da završe kolo i ispune tehnološku svrhu.
Šta je proces fotolitografije?
Fotolitografija, koja se također naziva optička litografija ili UV litografija, je proces koji se koristi u mikrofabrikaciji za izradu uzoraka dijelova na tankom filmu ili većem dijelu supstrata (koji se također naziva wafer). … U složenim integrisanim kolima, CMOS pločica može proći fotolitografski ciklus čak 50 puta.
Koji su procesi mikrofabrikacije?
Mikrofabrikacija je proces izrade minijaturnih struktura mikrometarskih razmjera i manjih. … Glavni koncepti i principi mikrofabrikacije su mikrolitografija, doping, tanki filmovi, jetkanje, lijepljenje i poliranje.
Šta je proces litografije u poluprovodnicima?
Poluprovodnički litografski sistem poduzima proces u kojem se vrlo složeni obrasci kola nacrtani na fotomaski napravljenoj od velike staklene ploče smanjuju korištenjem sočiva ultra visokih performansi i izlažu na silikonskoj podlozi poznatoj kaooblatnu. …
Šta je litografija u procesu izrade?
Litografija jeproces prenošenja uzoraka geometrijskih oblika u maski na tanak sloj materijala osjetljivog na zračenje (koji se naziva otpor) koji pokriva površinu poluvodičke pločice. Slika 5.1 šematski ilustruje litografski proces koji se koristi u proizvodnji IC.
